Датчики температуры и вибрации
Узлы управления ЭПУУ-7, ЭПУУ-8ПИК-30
Профилометр интерференционный компьютерный ПИК-30
Профилометр предназначен для оптического автоматизированного измерения трехмерного профиля поверхности зеркально-отражающих изделий.
Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от эталонного зеркала и поверхности измеряемого изделия. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина. Автоматизированная расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Представление результатов измерений
-
горизонтальное и вертикальное сечения профиля в любой выбранной точке
-
псевдоцветное изображение профиля с двумя взаимно перпендикулярными сечениями в любой выбранной точке
-
матрица значений высот профиля в выделенной прямоугольной области
-
трехмерное изображение профиля с возможностями масштабирования и вращения
-
протокол измерений, включающий в себя любой из перечисленных видов представления
Измерение профиля поверхности кремниевых пластин
Измерение радиуса кривизны сферческих зеркал
|
Технические характеристики |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Сделать заказ и запросить дополнительную информацию по ПИК-30 Вы можете здесь.
Назад